案例介紹

某半導(dǎo)體制造企業(yè)，在其晶圓生產(chǎn)過程中會(huì)產(chǎn)生含有高純度化學(xué)物質(zhì)的廢水。此類廢水成分復(fù)雜、處理標(biāo)準(zhǔn)極其嚴(yán)苛，必須通過穩(wěn)定的高溫蒸發(fā)工藝進(jìn)行濃縮和處理，以實(shí)現(xiàn)環(huán)保達(dá)標(biāo)和資源回收。

客戶采用多效蒸發(fā)器作為核心處理設(shè)備，其工藝對(duì)熱源系統(tǒng)提出了要求：

• 極高的可靠性：半導(dǎo)體生產(chǎn)線是24小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，任何中斷都會(huì)導(dǎo)致巨大的經(jīng)濟(jì)損失。廢水處理作為關(guān)鍵輔助設(shè)施，其熱源系統(tǒng)必須可靠，零意外停機(jī)。
• 穩(wěn)定的高溫供應(yīng)：需要將導(dǎo)熱油加熱至120℃左右，為蒸發(fā)器提供持續(xù)、穩(wěn)定的熱量，確保廢水蒸發(fā)過程的連續(xù)性和效率。
• 過程控制：溫度、壓力的穩(wěn)定性直接影響蒸發(fā)效率和濃縮物的品質(zhì)，需要監(jiān)控與控制。
• 高度的自動(dòng)化與遠(yuǎn)程監(jiān)控：設(shè)備需集成到廠區(qū)的中央控制系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)無人值守、遠(yuǎn)程操作和故障預(yù)警，以滿足半導(dǎo)體工廠智能化管理的要求。

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)“高可靠性”和“高純度”的追求，我們?yōu)榭蛻籼峁┝艘挥靡粋潆p機(jī)系統(tǒng)的280kW電加熱導(dǎo)熱油爐解決方案：

1、一用一備，打造不間斷的熱源中心：
方案核心是配置兩臺(tái)完全獨(dú)立的280kW電加熱導(dǎo)熱油爐。一臺(tái)處于運(yùn)行狀態(tài)，另一臺(tái)作為熱備份。
當(dāng)運(yùn)行中的設(shè)備出現(xiàn)任何預(yù)警或故障時(shí)，控制系統(tǒng)可自動(dòng)或手動(dòng)無擾切換至備用機(jī)組，確保蒸發(fā)器熱源零中斷，滿足了半導(dǎo)體生產(chǎn)7x24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的苛刻要求，為客戶的生產(chǎn)連續(xù)性提供了保障。
2、大功率加熱，滿足持續(xù)蒸發(fā)需求：
單臺(tái)280kW的大功率設(shè)計(jì)，為蒸發(fā)器提供充足且穩(wěn)定的熱量，確保廢水蒸發(fā)量達(dá)到設(shè)計(jì)指標(biāo)，處理能力強(qiáng)勁。
3、智能PLC控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程管理：
以工業(yè)級(jí)PLC為核心控制器，配合觸摸屏，構(gòu)建了監(jiān)控系統(tǒng)：
多參數(shù)監(jiān)控：實(shí)時(shí)高精度監(jiān)測(cè)導(dǎo)熱油系統(tǒng)的溫度、壓力、流量以及設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，形成閉環(huán)控制，確保系統(tǒng)在120℃工況下穩(wěn)定運(yùn)行。
遠(yuǎn)程互聯(lián)：支持以太網(wǎng)通訊，接入客戶廠區(qū)DCS或SCADA系統(tǒng)。工程師可在中央控制室遠(yuǎn)程啟停設(shè)備、設(shè)定溫度、查看所有運(yùn)行參數(shù)和歷史曲線。
報(bào)警與保護(hù)：系統(tǒng)具備完善的連鎖保護(hù)功能（如超溫、低壓、缺媒、過載等）。一旦出現(xiàn)異常，立即發(fā)出聲光報(bào)警并記錄事件，同時(shí)可觸發(fā)備用機(jī)組啟動(dòng)，并發(fā)送信息至管理人員手機(jī)，實(shí)現(xiàn)預(yù)測(cè)性維護(hù)。
4、高品質(zhì)組件，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行：
采用高品質(zhì)電加熱管、高溫循環(huán)油泵及控制閥件，設(shè)計(jì)選型留有充足余量，確保單臺(tái)設(shè)備在長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行下的耐用性和穩(wěn)定性，從源頭上降低故障率。    

本案例充分證明，我們的電加熱導(dǎo)熱油爐解決方案，不僅僅是提供熱量，更是為半導(dǎo)體這類對(duì)可靠性有要求的行業(yè)，提供了一套具備高可用性和智能管理功能的熱源系統(tǒng)。其一用一備的冗余設(shè)計(jì)、大功率穩(wěn)定輸出、以PLC為核心的智能控制理念，深度契合了半導(dǎo)體工業(yè)的核心需求，為客戶的關(guān)鍵輔助設(shè)施提供了堅(jiān)實(shí)、可靠、現(xiàn)代化的基礎(chǔ)保障，成為了客戶智能化工廠中不可或缺的可靠一環(huán)。